服务热线:13480273288
当前位置: 主页 > 新闻动态 >

新闻动态

气体质量流量控制器和流量计工作原理

作者: 来源: 阅读量:


        流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:

质量流量计工作原理图

        控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。 注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。


气体质量流量计和气体质量流量控制器结构 

气体质量流量计结构

        气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。


气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围


        MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

首页|公司简介|产品展示|技术资料|新闻动态|在线留言|联系我们|网站地图

主营产品:流量计、能量计、流量控制器、污水流量计、电磁流量计、天然气流量计、蒸汽流量计

广州仪控自动化仪表有限公司 版权所有 技术支持:云搜宝  2004--2082   粤ICP备11098241号-2  


关闭悬浮

客服中心

咨询热线